“今年作为疫情结束之后的首届进博会,我们还是蛮期待的。”
伴随第六届国际进口博览会帷幕的开启,半导体行业领先供应商ASML(阿斯麦)以“光刻未来,携手同行”为主题,亮相位于国家会展中心的技术装备展区集成电路专区。
ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波在此次参展的预热活动中表示,这是AML第五次参加进博会。“近几年,ASML似乎已经成为一家‘网红’公司。我们希望通过进博会这一难得的平台和窗口,令公众对公司有更客观、更全面的认识。”
据悉,今年ASML共分为三个展区,包括公司介绍及拍照打卡区、虚拟晶圆厂及ASML全景光刻解决方案、仿真光刻机“开箱”区。“制造芯片是一个非常复杂的过程”。沈波坦言,“今年,我们着力想让大家理解作为一个芯片厂,ASML究竟能帮我们的客户做什么。”
ASML展台效果图
ASML总部位于荷兰菲尔德霍芬,自1988年向中国交付了首台步进式光刻机以后,迄今已在中国市场深耕30余年。如今,中国已成为ASML最重要的市场之一,设有16个办事处、12个仓储物流中心、3个开发中心、1个培训中心以及1个维修中心。
沉浸式呈现“铁三角”解决方案
本届进博会,ASML延续数字化路线,带领观众进入虚拟晶圆厂,在数字化空间里展示芯片制造全流程,并沉浸式体验ASML所专注的“成像环节”,深度了解ASML包括光刻机台、计算光刻以及光学和电子束量测在内的全景光刻解决方案如何相互协作、支持客户。该环节旨在持续传递ASML以全景光刻“铁三角”的无间合力,帮助芯片制造商经济高效地提升良品率和生产效率,支持半导体行业共同发展的愿景。
现场亦将展出仿真光刻机外观平面模型,并通过裸眼3D视频,展示光刻机内部构造,引领观众们探索和了解ASMLDUV(深紫外线)光刻机核心部件以及基本工作原理。
在芯片制造的上千道工序中,成像环节是ASML所关注的。此次进博会上,ASML带来了全景光刻解决方案。
“大家听到ASML就会想到光刻机,实际上光刻机的作用就是让客户在整个芯片制造过程中实现成像。因此,怎样把成像做得更好,帮助客户在制造芯片的过程中实现更好的良率,从而更顺畅地将工艺窗口做得更好,是我们围绕成像过程努力的目标。”沈波坦言。
基于此,不仅是光刻机,ASML计算光刻的软件和整个量测系统,共同构成一个越来越紧密协作的“铁三角”,即包括配备强大工艺控制能力的光刻机台、计算光刻、光学及电子束量测的全景光刻解决方案,帮助芯片制造商生产更小、更强大、更智能的芯片。
其中光刻机作为“晶圆成像专家”,可帮助客户制造芯片;计算光刻可创建光刻工艺的精确仿真模型,提高良率和产能;量测则可以在曝光后进行晶圆成像检查和反馈,帮助模型进一步优化。据沈波透露,这一“铁三角”解决方案颇受中国客户欢迎,并在行业中获得诸多认可。
不断释放的中国半导体市场潜能
1988年,第一台ASML步进式光刻机进入中国。在中国,ASML始终积极响应中国集成电路行业的发展需求,从而帮助客户提高效率并降低成本。
沈波表示,芯片行业发展至今,已有超过60年的历史。从当前终端市场的表现看,中国半导体市场有很大发展潜能,尤其是在成熟制程领域。
根据公开数据,在家电行业,中国是家电和消费电子产品的最大消费国和生产国之一,预计2023年在该领域最高将创造1,530亿美元的收入,约占全球的30%;在汽车行业,根据中国汽车工业协会的最新统计数据,中国新能源汽车的增长速度连续八年保持世界第一;在储能行业,截至2022年底,中国已投运的电力储能项目累计装机容量为59.8GW,占全球市场总量的 25%,年增长率为 38%。另外,中国企业供应了全球约 80%的多晶硅、太阳能电池和组件。
与此同时,从成熟制程到先进制程的终端消费市场,例如智能手机、服务器、数据中心和存储、无线和有线基础设施等领域,中国均有显著增长。
“上述市场均为半导体应用相关的重要终端市场。另外还有工业应用,尤其是如今热门的智能制造,其核心是工业自动化、工业应用,包括机器人的应用等。”以工业机器人的应用为例,工业和信息化部数据显示,2022年中国工业机器人装机量占全球比重超50%,已成为全球第一大工业机器人市场。
全球电子产业的发展将推动整个半导体市场的持续增长。随着中国半导体行业的发展以及半导体终端市场的增长,最大的成熟制程芯片市场,中国半导体市场的发展潜力正被不断释放。
据了解,伴随业务发展,ASML在华员工数一直在可持续增长。如今其中国大陆员工总人数已超过1,600人,并将于未来继续发展人才队伍,以支持本地业务长期发展。（企业供图）
